一种方便散热的靶材安装装置
专利号:2017108946000
专利人:南京宝丽晶电子科技有限公司
本发明公开了一种方便散热的靶材安装装置,包括底座,所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱,所述水箱的上侧壁固定安装有水泵,所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管,所述立板的右侧壁固定安装有固定块,所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块,所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板,所述固定块的前侧壁中部开设有通孔,所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板,所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块,所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管,本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构,可以固定锁紧靶材,且方便更换,通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构,可以将工作时产生的热导出散掉。