一种双向瞬态电压抑制器及制备方法
专利号:2018107805480
专利人:盛世瑶兰(深圳)科技有限公司
本发明公开了一种双向瞬态电压抑制器,其包括:第一导电类型的衬底;形成在衬底上表面的第二导电类型的第一外延层;形成在第一外延层上的第一沟槽;形成在第一沟槽内的第一导电类型的第二外延层;形成在第一外延层上的第二沟槽;形成在第二沟槽内的第二导电类型的第三外延层,第三外延层的掺杂浓度大于第一外延层的掺杂浓度;形成在第二外延层上的第三沟槽、形成在第三外延层上的第四沟槽、形成在第三沟槽及第四沟槽内壁的扩散区;形成在第一外延层上的介质层;贯穿介质层与扩散区连接的第一电极;与衬底下表面连接的第二电极。本发明还公开了一种上述双向瞬态电压抑制器的制备方法。其能解决单个电压抑制器不能进行双向保护的问题。