一种瞬态电压抑制器及其制作方法
专利号：2018110936158
专利人：盛世瑶兰(深圳)科技有限公司

本发明提供一种瞬态电压抑制器及其制作方法，包括：在第一导电类型的衬底中形成第一沟槽和第二沟槽；形成第二导电类型的外延层，包括形成于所述衬底上表面的第一部分，以及分别形成于所述第一沟槽和所述第二沟槽内形成的第二部分；在所述衬底和所述外延层交界处形成覆盖所述第一沟槽和所述第二沟槽上表面，以及所述第一沟槽和所述第二沟槽之间的所述衬底上表面的第一介质层；在所述衬底内形成覆盖所述第一沟槽下表面的第二介质层以及覆盖所述第二沟槽下表面的第三介质层，所述第二介质层和所述第三介质层分别沿着相互背离的方向延伸至所述外延层边缘；在所述外延层上表面形成第一电极；在所述衬底下表面形成第二电极，从而降低了器件制造成本。