一种用于电子皮肤的柔性压力传感器及制备方法
专利号：2018108488191
专利人：张玉英

本发明属于电子皮肤的技术领域，提供了一种用于电子皮肤的柔性压力传感器及制备方法。该方法通过激光刻蚀制得具有锥形微孔的硅模板，然后涂覆含固化剂的聚二甲基硅氧烷，固化后剥离得到锥形结构的聚二甲基硅氧烷柔性基板，再喷涂石墨烯/聚苯胺分散液形成透明导电薄膜，进一步封装氧化锡锑电极及聚醚酰亚胺衬底，制得柔性压力传感器。与传统方法相比，本发明制备的压力传感器，不仅具有良好的柔性，临界拉应变和临界压应变较高，而且对微压力具有超高的灵敏度，探测极限低，响应时间短，适合用于电子皮肤。