供气控制装置 专利号:CN200820151432.2专利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
本实用新型提供一种气体供气控制装置,其主要技术特征在于包括连通第一管道和第二管道的第三管道以及第三管道之上的手动气阀。在电磁阀或可编程逻辑控制器模块失效的紧急情况下,通过手动选择手动气阀的开关,从而选择控制气阀的导通与关闭,等效实现电磁阀控制的功能。因此本实用新型所提供的供气控制装置能在特殊紧急故障情况下能保证快速强制正常供气,并且供气控制装置结构相对简单。