一种具有多孔介质层的金属互连结构
专利号：2018101664563 
专利人：佛山市宝粤美科技有限公司

本发明提供了一种具有多孔介质层的金属互连结构，其包括有在多孔介质层中具有通孔结构，通孔的边缘部分低于下层介质层中的互连线的上表面，在下层介质层中的互连线周围形成有第一凹槽结构，多孔介质层中的通孔结构采用飞秒激光刻蚀形成，在刻蚀过程中使所述多孔介质层中暴露的孔结构的局部熔化使暴露的所述孔结构密封；在通孔结构内具有金属互连结构，金属互连结构与所述互连线上表面以及部分侧表面接触；金属互连结构上方具有封盖层，封盖层具有位于金属互连结构的顶表面的部分和位于顶表面以下的位于顶表面周围的第二凹槽结构中的部分。